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        深紫外传递函数测量

        2019-12-23 分享

            紫外检测镜头的应用越来越多,尤其是在半导体行业应用更加广泛,为了确保镜头的成像质量和设备的性能,需要测量紫外光学系统的传递函数。但国内紫外传函测试仪较少,难以满足特定检测需要,光电所依托国家重大专项任务研制建立深紫外传递函数测试平台,可以实现传函自动测量,同时可以测试镜头的景深和倍率。测试平台稳定可靠,在半导体制造行业内具有广阔的应用前景。

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